پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم

word
151
2 MB
32268
1390
کارشناسی ارشد
قیمت: ۱۵,۱۰۰ تومان
دانلود فایل
  • خلاصه
  • فهرست و منابع
  • خلاصه پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم

    پایان نامه برای دریافت درجه کارشناسی ارشد(M.SC)

    گرایش: الکترونیک

     

    فصل اول: کلیات طرح

     

    1-1 مقدمه

    مسئله اصلی تحقیق عبارت است از طراحی و تحلیل سنسور فشار خازنی بر پایه تکنولوژی MEMS و بررسی این مسئله که به چه میزان می‌توان حساسیت سنسور را جهت اندازه‌گیری فشار کره چشم افزایش داد؟

    در این تحقیق سنسور فشار خازنی بر پایه تکنولوژی MEMS جهت اندازه‌گیری فشار داخل چشمی بررسی می‌شود. این سنسور در داخل چشم بیماران آب سیاه کاشته می‌شود تا بتوان فشار داخل چشمی[1] را به صورت مداوم و پیوسته مشاهده کرد.

    MEMS مخفف Micro Electro Mechanical Systems می‌باشد. تکنولوژی MEMS برای ایجاد قطعات مجتمع شده کوچک مانند میکروسنسور ها و یا سیستم هایی که مولفه های مکانیکی و الکتریکی را با یکدیگر تر کیب می‌کنند، به کار می روند. سنسورهای فشار که با استفاده از تکنولوژی MEMS ساخته می‌شود، دارای اندازه کوچک، هزینه کم و عملکرد بسیار خوبی هستند. اندازه اجزاء ساخته شده از چند میکرومتر شروع شده و تا چند میلیمتر گسترش می‌یابد[1].

     

     

     

    سنسور فشار خازنی[2] یک مکانیزم معمول برای سنسور فشار می‌باشد. این نوع سنسورها از دو صفحه الکترود موازی تشکیل می‌شوند. صفحه الکترود بالایی خازن، دیافراگم نام دارد و حساسیت زیادی به فشار خارجی از خود نشان می‌دهد. با اعمال فشار خارجی دیافراگم تغییر شکل داده ، فاصله بین دو الکترود کم می‌شود و در نتیجه ظرفیت خازن زیاد می‌شود.

    صفحات خازن بگونه ایست که یک صفحه الکترود به صورت ثابت قرار دارد (الکترود زیرین[3]) در حالیکه دیافراگم نسبت به آن حرکت می‌کند. طبق فرمول (1-1) کم و یا زیاد شدن فضای بین دو صفحه به تغییر ظرفیت خازنی می انجامد.

     

    ε  ثابت دی الکتریک ماده بین دیافراگم و صفحه پایین، A مساحت موثر الکترود های خازن و d فاصله بین آن دو می‌باشد.

    (تصاویر در فایل اصلی موجود است)

     

    در این تحقیق به بررسی سنسور فشار خازنی قابل کاشت در چشم با استفاده از تکنولوژی MEMS می‌پردازیم. این سنسور داخل چشم بیماران گلوکوما جهت مانیتور کردن فشار چشم کاشته می‌شود و به پزشکان کمک می‌کند تا بیماری گلوکوما را بهتر درمان کنند و پیشینه کامل تری از فشار داخل چشمی ( IOP ) در اختیار داشته باشند. در سنسورهای فشار چشم، فشار اعمال شده به دیافراگم سنسور، از طریق مایع چشم (زلالیه) صورت می‌گیرد و جابجایی چند میکرونی در دیافراگم ایجاد می‌کند. اندازه‌گیری فشار کره چشم اصولا برای بیمارانی که از بیماری آب سیاه (گلوکوما) رنج می‌برند، اهمیت زیادی دارد. معمولا گلوکوما ناشی از بالا رفتن فشار داخل چشمی و بد عمل کردن چشم اتفاق می‌افتد. بیماری آب سیاه معمولا بدون علائم است و ممکن است بیمار تا مرز نابینایی برود. این در حالیست که بیمار درد و یا نشانه قابل ملاحظه ای را تجربه نمی‌کند[2].

    سنسور فشار معرفی شده یکی از سه مولفه بکار گرفته شده در سیستم اندازه‌گیری فشار چشم می‌باشد. مولفه دوم واحد جمع آوری و پردازش اطلاعات می‌باشد و مولفه سوم پایگاه داده مرکزی که کلیه اطلاعات ضبط شده را نگهداری می‌کند (شکل 1-2). مدار اولیه (واحد پردازش اطلاعات) و مدار ثانویه (سنسور) از طریق کوپلینگ سلفی به یکدیگر ارتباط برقرار می کنند. مدار اولیه مرتبا سیگنال پریودیک تولید کرده و آن را به مدار ثانویه ارسال می کند. سیگنال ارسال شده مدار ثانویه را تحریک کرده و نتیجه این تحریک به مدار اولیه باز می گردد و خصوصیات مدار اولیه را تغییر می‌دهد. اندازه‌گیری پاسخ فرکانسی سیگنال پریودیک در مدار اولیه اطلاعاتی را در رابطه با ظرفیت خازنی سنسور و در نهایت فشار اعمال شده به دیافراگم می‌دهد. (ظرفیت خازنی سنسور ارتباط مستقیم با فشار اعمال شده به سنسور دارد.)

    چگونگی ارتباط واحد جمع آوری اطلاعات و واحد پایگاه داده مرکزی با سنسور کاشته شده

    در این پروژه به فاز اول طراحی سنسور خازنی فشار چشم می‌پردازیم. فاز دوم شامل ساخت قطعه و فاز سوم شامل طراحی واحد DAP و پایگاه داده می‌باشد که جزء برنامه های آینده است.

    مهمترین مسئله که از اهمیت زیادی برخوردار است حساسیت سنسور است. در صورتی که دیافراگم از حساسیت قابل قبولی برخوردار نباشد به خوبی نمی‌تواند جابجا شود و در نتیجه ظرفیت خازن به میزان کمی تغییر خواهد کرد.

    پارامترهای مهم برای طراحی سنسور فشار عبارتند از:

    میزان ظرفیت خازن

    شکل دیافراگم

    میزان انحراف دیافراگم

    ضخامت دیافراگم

    اندازه شکاف هوایی

    مواد مورد استفاده برای دیافراگم

    در نهایت هدف بالابردن حساسیت سنسور فشار می‌باشد تا با اعمال کمترین فشار، بیشترین تغییرات را در دیافراگم سنسور داشته باشیم.

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    1-2 اهداف تحقیق

    این پروژه به طراحی و شبیه سازی سنسور فشار خازنی چشم با استفاده از تکنولوژی MEMS می‌پردازد که در مقایسه با نمونه های مشابه خود، از حساسیت بالاتری برخوردار است. با توجه به معرفی پارامترهای مهم برای طراحی سنسور فشار و از آنجا که ویژگی های جابجایی دیافراگم بیشترین تاثیر بر رفتار سنسور دارد، لذا ضروری است که تحلیل دقیقی از جابجایی و عوامل موثر بر دیافراگم را داشته باشیم. بنابراین می‌توان اهداف تحقیق را در جهت بهبود این پارامترها از جمله ضخامت دیافراگم، ماده دیافراگم و حساسیت دیافراگم قرار داد. در این تحقیق مهمترین هدف بالا بردن حساسیت سنسور فشار می‌باشد. تا با اعمال کمترین فشار، جابجایی زیادی در دیافراگم سنسور داشته باشیم.

    این مسئله می‌تواند با کاهش استرس و سختی دیافراگم انجام گیرد. کاهش استرس با محدودیت ها و مشکلاتی در حین ساخت همراه می‌باشد. به منظور افزایش حساسیت سعی می کنیم تا وابستگی دیافراگم را به بدنه کم کنیم تا بدین ترتیب اثر استرس بر روی دیافراگم را کاهش دهیم و در نهایت دیافراگم بتواند نسبت به فشار حساسیت بیشتری داشته باشد. طراحی قطعه با شبیه سازی و بهینه سازی مواد همراه می‌باشد.

    1-3 اهمیت موضوع تحقیق و انگیزه انتخاب آن

    در این تحقیق سعی بر این است که با طراحی یک میکروسنسور، فشار کره چشم بیمارانی که از بیماری گلوکوما رنج می برند اندازه‌گیری شود. از آنجا که بیماری گلوکوما معمولا بدون علائم است لذا این روش به پزشکان کمک می‌کند تا اطلاعات بهتری از وضعیت فشار کره چشم پیدا کنند.

    سطح طبیعی فشار داخل چشمی در حدود mmHg 16 می‌باشد. فشار بیش از mmHg 22 به طور طبیعی بالاست و فشار بین mmHg 50-45 بسیار خطرناک خواهد بود. تکنیک‌های مختلفی جهت اندازه‌گیری فشار داخل چشمی وجود دارد. اندازه‌گیری فشار چشم با استفاده از تکنیک‌های مرسوم مانند تونومتر گولدمن امکان پذیر است. استفاده از این تکنیک هنوز هم در مطب های چشم پزشکان مورد استفاده قرار می‌گیرد ولی این تکنیک شدیدا به ضخامت قرنیه وابسته است. از طرف دیگر فشار داخل چشمی در طی روز مرتبا در حال تغییر است. این مسئله موجب می‌شود که بسیاری از بیماران گلوکوما، با وجود اینکه بطور کنترل شده تحت نظر هستند، ولی به تدریج بینایی خود را از دست می‌دهند. لذا نیاز به اندازه‌گیری پیوسته فشار داخل چشمی امری ضروری به نظر می‌رسد[3].

    سنسور مورد بررسی در این پروژه بخشی از سنسور فشار خازنی غیرفعال برای اندازه‌گیری فشار داخل چشمی است. لذا با طراحی بهینه سنسور فشار خازنی و افزایش حساسیت آن، می‌توان اندازه‌گیری دقیق تری از فشار چشم را برای پزشکان فراهم نمود.

    Abstract

    In this thesis design and simulation of MEMS capacitive pressure sensor is presented. This sensor will be implanted in the eye of Glaucoma patients to monitor intraocular pressure (IOP) on a continuous basis. It is hoped that the device will prepare doctors complete patients history of IOP.

    This sensor is comprised of a parallel plate pressure-variable capacitor and a planar coil housed inside the sensor. The variable capacitive sensor is consisted of a non-movable electrode and a thin flexible diaphragm exposed to the pressure exerted by the eye fluid. Pressure exerted on the diaphragm by the aqueous humor results in a micron-scale deflection of the diaphragm causing a change in the capacitance of the sensor. Normal IOP is around 2.1 KPa. So because of small pressure, It is necessary to decrease the stiffness of the diaphragm and increase the sensitivity of the capacitive pressure sensor.

    In this thesis the capacitive part of the IOP sensor is investigated and the sensitivity of the pressure sensor is increased by different ways. First we begin our work with the pressure sensor uses square p++si diaphragm with a thickness of 4 μm, an air gap of 1.5 μm and a 0.55 × 0.55 mm2 diaphragm. Using polysi material with lower residual stress instead of p++si in sensor diaphragm and also adding slots around diaphgram to decrease stiffness of the diaphragm are the proposed ways in this work to increase the sensitivity of the diaphragm. Finally by implementing FEA method with MEMS simulator, the sensitivity of the sensor increase 6.2 times.

  • فهرست و منابع پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم

    فهرست:

    فصل اول: کلیات طرح.. 1

    1-1 مقدمه. 1

    1-2 اهداف تحقیق.. 5

    1-3 اهمیت موضوع تحقیق و انگیزه انتخاب آن. 5

    1-4 فرضیه های تحقیق.. 6

    1-5 محدودیت ها و مشکلات تحقیق.. 7

    1-6 ساختار پروژه 7

    فصل دوم: مروری بر مطالعات انجام شده 8

    مقدمه. 8

    2-1 معرفی MEMS. 9

    2-2 مبدل های MEMS. 10

    2-3 سنسورهای فشار. 10

    2-3-1 سنسورهای فشار پیزوالکتریک... 10

    2-3-2 سنسورهای فشار مقاومت پیزویی.. 11

    2-3-3 سنسورهای فشار خازنی.. 11

    2-3-3-1 علل استفاده از سنسور فشار خازنی.. 12

    2-4 ساختمان چشم. 13

    2-4-1 پلک... 14

    2-4-2 ملتحمه. 14

    2-4-3 قرنیه. 14

    2-4-4 عنبیه و مردمک... 15

    2-4-5 اتاق قدامی.. 16

    2-4-6 عدسی.. 16

    2-4-7 زجاجیه. 17

    2-4-8 شبکیه. 17

    2-4-9 صلبیه. 18

    2-4-10 عصب بینایی.. 18

    2-4-11 عضلات چشم. 18

    2-5 گلوکوما چیست... 18

    2-5-1 گلوکوم زاویه باز اولیه. 19

    2-5-2 گلوکوم حاد زاویه بسته. 19

    2-6 تکنیک‌های مرسوم برای اندازه‌گیری فشار داخل چشمی.. 21

    2-6-1 تونومتر اپلاناسیون گلدمن.. 21

    2-6-2 تونومتری غیر تماسی ( NCT: Non Contact Tonometry ) 23

    2-6-3 تونوپن (Tonopen) 24

    2-6-4 تونومتریDynamic Contour  (DCT) 24

    2-7 نیاز به اندازه‌گیری مداوم فشار داخل چشمی.. 25

    2-8 تکنیک‌های اندازه‌گیری مداوم فشار داخل چشمی.. 26

    2-8-1 تکنیک‌های اندازه‌گیری توسط حسگرهای سیمی.. 27

    2-8-2 دور سنج تزویج القایی.. 29

    2-8-2-1 دستگاه غیرفعال. 30

    2-8-2-2 دستگاه فعال. 41

    2-9 بحث و بررسی.. 42

    فصل سوم: روش انجام تحقیق.. 43

    مقدمه. 43

    3-1 طراحی سنسورهای فشار خازنی MEMS. 43

    3-2 مدل سازی دیافراگم مسطح.. 45

    3-3 بررسی ساختار سنسور فشار خازنی.. 48

    3-3-1 حساسیت مکانیکی دیافراگم. 49

    3-3-2 حساسیت سنسور. 50

    3-3-3 انتخاب ناحیه کاری برای سنسور فشار چشم. 51

    3-4 بررسی ظرفیت خازنی.. 52

    3-5 آنالیز خمش یک صفحه نازک.. 53

    3-5-1 بررسی معادلات پایه ای صفحات نازک با جابجایی کوچک... 54

    3-5-2 بررسی شرایط مرزی.. 56

    3-5-3 جابجایی صفحه نازک تحت فشار خارجی یکنواخت... 57

    3-6 محاسبه ظرفیت خازنی سنسور فشار خازنی.. 69

    3-7 آنالیز المان محدود. 70

    3-7-1 دیافراگم مربعی چهار طرف ثابت... 70

    3-7-2 دیافراگم مربعی شیاردار. 71

    فصل چهارم: نتایج شبیه سازی.. 73

    مقدمه. 73

    4-1 شبیه سازی دیافراگم. 73

    4-1-1 نتایج ریاضی.. 74

    4-1-2 اثر استرس دیافراگم. 74

    4-1-3 اثر اندازه دیافراگم. 75

    4-1-4 اثر ضخامت دیافراگم. 75

    4-1-5 حساسیت مکانیکی دیافراگم. 76

    4-1-6 نتایج شبیه سازی المان محدود. 78

    4-2 شبیه سازی ساختار سنسور فشار چشم. 86

    4-2-1 اثر پارامترهای طراحی بر روی رفتار استاتیکی و دینامیکی سنسور فشار چشم. 87

    4-2-2 بررسی ولتاژ پولین برای ساختار دیافراگم مربعی.. 87

    4-2-3 ظرفیت خازنی سنسور فشار چشم. 90

    4-2-4 توزیع استرس بر روی دیافراگم. 92

    4-2-5 پاسخ فرکانسی سنسور خازنی فشار چشم. 93

    4-3 استفاده از دیافراگم پلی‌سیلیکون جهت افزایش حساسیت سنسور فشار چشم. 95

    4-4 بررسی سنسور فشار چشم با دیافراگم پلی‌سیلیکون شیاردار. 99

    4-5 مقایسه سنسورهای فشار پلی‌سیلیکون و p++si در حالت clamped. 102

    4-6 مقایسه سنسورهای فشار پلی‌سیلیکون و p++si با دیافراگم شیاردار. 111

    4-7 مقایسه سنسور فشار خازنی با دیافراگم پلی‌سیلیکون در حالت clamped و شیاردار. 119

    فصل پنجم: نتیجه گیری و پیشنهادات... 128

    5-1 نتیجه گیری.. 128

    5-2 پیشنهادات... 131

    مراجع.. 132

     

    منبع:

     

     

    Fujita, H. Microactuators and micromachines. Proceedings of the IEEE, 86(8):1721–1732, 1998.

    Goodall, G. A. Design of an implantable micro-scale pressure sensor for managing glaucoma. Michigan State University, Department of Mechanical Engineering, 2002.

    Katuri, K. C., Asrani, S., and Ramasubramanian, M. K. Intraocular pressure monitoring sensors. IEEE Sensors 1, vol. 8, no. 1, 12-19, Jan. 2008.

    Scheeper, P. R., Olthuis, W., and Bergveld, P. A silicon condenser microphone with a silicon nitride diaphragm and backplate. J. Micromec. Microeng. 2, pp.87-189, 1992.

    Scheeper, P. R., Olthuis, W., and Bergveld, P. The design, fabrication, and testing of corrugated silicon nitride diaphragms. Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 3, no. 1. 1994.

    Puers, R., Vandevoorde G., and De Bruyker, D. Electrodeposited copper inductors for intraocular pressure telemetry. J. Micromech. Microeng. vol. 10, pp. 124–129, 2000.

    Gloster, J. and Perkins, E. S. The validity of the Imbert-Flick law as applied to applanation tonometry. Exp. Eye Res., vol. 44, pp. 274–283, 1963.

    Ehlers, N., Bramsen, T., and Sperling, S. Applanation tonometry and central corneal thickness. Acta Ophthalmol., vol. 53, p. 34, 1975.

    Moses, R. A. The Goldmann applanation tonometer, Amer. J. Ophthalmol., vol. 46, no. 6, pp. 865–869, Dec. 1958.

    Forbes, M., Pico, G. Jr., Grolman, B. A noncontact applanation tonometer. Description and clinical evaluation. Arch Ophthalmol;91:134-140, 1974.

    Kempf, R., Kurita, Y., Iida, Y., Kaneko, M., Mishima, H. K., Tsukamoto, H., and Sugimoto, E. Understanding eye deformation in non-contact tonometry. in Proc. Annu. Int. Conf. IEEE Eng. Med. Biol. Soc., New York, pp. 5428–543130, Aug.–3 Sep. 2006.

    Frenkel, R., Hong, Y., and Shin, D. Comparison of Tono-Pen to the Goldmann applanation tonometer. Arch. Opthalmol., vol. 106, no. 106, pp. 750–753, 1998.

    Schneider, E., and Grehn, F. Intraocular pressure measurement-comparison of dynamic contour tonometry and Goldman applanation tonometry. J Glaucoma, vol. 15, no. 1, pp. 2–6, Feb. 2006.

    Asrani, Zeimer,Wilensky, Geiser, Vitale, and Lindenmuth, Large diurnal fluctuations in IOP are an independent risk factor in glaucoma patients. J. Glaucoma, vol. 9, pp. 134–142, 2000.

    Fogagnolo, P., Rossetti, L., Mazzolani, F., and Orzalesi. N. Circadian variations in central corneal thickness and intraocular pressure in patients with glaucoma. Br. J. Ophthalmol., vol. 90, pp. 24–28, 2006.

    Barkana, Y., Anis, S., Liebmann, J., Tello, C., and Ritch. R. Clinical utility of intraocular pressure monitoring outside of normal office hours in patients with glaucoma. Arch. Opthalmol., vol. 124, Jun. 2006.

    Waters, G. E., Thommen, Jr. and R. L. Intraocular pressure sensor. U.S. Patent 4922913.

    Leonardi, M., Leuenberger, P., Bertrand, D., Bertsch, A., and Renaud, P. First steps toward noninvasive intraocular pressure monitoring with a sensing contact lens. Investigative Ophthalmol. Vis. Sci., vol. 45, no. 9, Sep. 2004.

    Leonardi, M., Leuenberger, P., Bertrand, D., Bertsch, A., and Renaud, P. A soft contact lens with a mems strain gage embedded for intraocular pressure monitoring. in Proc. 12th Int. Conf. Solid State Sensors, Actuators, Microsyst., Boston, MA, vol. 2, pp. 1043–1046, Jun. 8–12, 2003.

    Puers, R. Capacitive sensors: When and how to use them. Sens. Actuators A, vol. 37–38, pp. 93–105, 1993.

    Collins, C. C. Miniature passive pressure transensor for implanting in eye. IEEE Trans. Bio-Med. Eng., vol. BME-14, no. 2, pp. 74–83, Apr. 1967.

    Backlund, Y., Rosengren, L., Hok, B., and Svedbergh, B. Passive silicon transensor intended for biomedical, remote pressure monitoring. Sens. Actuators, vol. A21–A23, pp. 58–61, 1990.

    Rosengren, L., Backlund, Y., Sjostrom, T., Hok, B., and Svedbergh, B. A system for wireless intraocular pressure measurements using a silicon micromachined sensor. J. Micromech. Microeng., vol. 2, pp. 202–204, 1992.

    Rosengren, L., Backlund, Y., Sjostrom, T., Hok, B., and Svedbergh, B., and Selen, G. A system for passive implantable pressure sensors. Sens. Actuators A, vol. 43, pp. 55–58, 1994.

    Van Schuylenbergh K. and Pures, R. Passive telemetry by harmonics detection. in Proc. 18th Annu. Int. Conf. IEEE Eng. Med. Biol. Soc., Amsterdam, The Netherlands, vol. 1, pp. 299–300, 1996.

    Akar, O., Akin, T., and Najafi, K. A wireless batch sealed absolute capacitive pressure sensor. Sens. Actuator A, vol. 95, pp. 29–38, 2001.

    Cho, S. T., Najafi, K., and Wise, K. D. Internal Stress Compensation and Scaling in Ultrasensitive Silicon Pressure Sensors. IEEE Transactions on Electron Devices, 39, pp. 836-842, April 1992.

    Kim, S., and Scholz, O. Implantable active telemetry system using microcoils. in Proc. IEEE 27th Annu. Conf. Eng. Med. Biol, Shanghai, China, Sep. 1–4, pp. 7147–7150, 2005.

    Eggers, T., Draeger, J., Hille, K., Marschner, C., Stegmaier, P., Binder, J., and Laur, R. Wireless intraocular pressure monitoring system integrated into an artificial lens. in Proc. 1st Annu. Int. IEEE-EMBS Special Topic Conf. Microtechnol. Med. Biol., Lyon, France, pp. 466-469, Oct. 12–14, 2000.

    Ullerich, S., Mokwa, W., vom Bogel, G., and Schnakenberg, U. Micro coils for an advanced system for measuring intraocular pressure. in Proc. 1st Annu. Int. IEEE-EMBS Special Topic Conf. Microtechnol. Med. Biol., Lyon, France, pp. 470–474, Oct. 12–14, 2000.

    Soin, N. and B.Y. Majlis, 2002. An analytical study on diaphragm behavior for micromachined capacitive pressure sensor. Proceedings of the IEEE International Conference on Semiconductor Electronics, Penang, Malaysia, pp: 505-510, December 19-21, 2002.

    Chau, H., and Wise, K. D. Scaling Limits in batch-Fabricated Silicon Pressure Sensors. IEEE Transactions on Electron Devices, vol. ED-34, no. 4, pp. 850-858, April 1987.

    Ganji, B. A., and Majlis, B. Y. Analytical Analysis of Flat and Corrugated Membranes for MEMS Capacitive Sensors. International journal of Nonlinear Dynamics in Engineering and Sciences. 1:1, pp. 47-57, 2008.

    Jermam, J. H The fabrication and use of micromachined corrugated silicon diaphragms. Sensors and Actuatores, vol. A21-A23, pp. 988-992, 2001.

    Md Mosaddequr, R., and Sazzadur, Ch. Square DiaphragmCMUT Capacitance Calculation Using a New Deflection Shape Function. Journal of Sensors Vol. 2011, Article ID 581910, 12 pages, 2011.

    Clark, S. K., and Wise, K. D. Pressure Sensitivity in Anisotropically Etched Thin-Diaphragm Pressure Sensors. IEEE Transactions on Electron Devices, Vol. ED-26, pp 1887-1896, 1979.

    Timoshenko, S. P. and Krieger, S. W. Theory of plates and shells. Singapore: McGraw-Hill. 1984.

    Senturia, S. D. Microsystem Design. Kluwer Academic Publishers, Boston, Dordrecht, London. 2001.



تحقیق در مورد پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, مقاله در مورد پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, پروژه دانشجویی در مورد پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, پروپوزال در مورد پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, تز دکترا در مورد پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, تحقیقات دانشجویی درباره پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, مقالات دانشجویی درباره پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, پروژه درباره پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, گزارش سمینار در مورد پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, پروژه دانشجویی در مورد پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, تحقیق دانش آموزی در مورد پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, مقاله دانش آموزی در مورد پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم, رساله دکترا در مورد پایان نامه طراحی و شبیه سازی سنسور فشار کره چشم

ثبت سفارش
تعداد
عنوان محصول
بانک دانلود پایان نامه رسا تسیس